hydac压力传感器结构类型

贺德克hydac压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的，具有较高的测量精度、较低的功耗，极低的成本。贺德克hydac压力传感器当外面的压力经引压腔进入传感器应力杯中，应力硅薄膜会因受外力作用而微微向上鼓起，发生弹性变形，四个电阻应变片因此而发生电阻变化，贺德克hydac压力传感器破坏原先的惠斯顿电桥电路平衡，电桥输出与压力成正比的电压信号。

贺德克hydac压力传感器和变送器由双膜片构成：钛合金测量膜片和钛合金接收膜片。印刷有异质外延性应变灵敏电桥电路的蓝宝石薄片，被焊接在钛合金测量膜片上。被测压力传送到接收膜片上（接收膜片与测量膜片之间用拉杆坚固的连接在一起）。贺德克hydac压力传感器在压力的作用下，钛合金接收膜片产生形变，该形变被硅- 蓝宝石敏感元件感知后，其电桥输出会发生变化，贺德克hydac压力传感器变化的幅度与被测压力成正比。

贺德克hydac压力传感器可以用类似集成电路设计技术和制造工艺，进行高精度，低成本的大批量生产。传统的机械量压力传感器是基于金属弹性体受力变形，由机械量弹性变形到电量转换输出，因此它不可能如贺德克hydac压力传感器那样做的像I C那么微小，成本也远远高于压力传感器，相对于传统的机械量传感器，贺德克hydac压力传感器的尺寸更小，zui大的不超过1CM，使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。

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