贺德克压力传感器测量压力要求

贺德克HYDAC压力传感器作为力电变换测量电路，将压力这个物理量直接变换成电量。贺德克HYDAC压力传感器使压力控制变得简单易用和智能化。传统的机械量压力传感器是基于金属弹性体受力变形，由机械量弹性变形到电量转换输出，因此它不可能如压力传感器那样做得像IC那么微小，成本也远远高于压力传感器。压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者 都是在硅片上生成的微机械电子传感器。 贺德克HYDAC压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的，具有较高的测量精度、较低的功耗，极低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器，如无压力变化，其输出为零，几乎不耗电。贺德克HYDAC压力传感器采用周边固定的圆形的应力杯硅薄膜内壁，采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力zui大处，组成惠斯顿测量电桥。

贺德克HYDAC压力传感器当外面的压力经引压腔进入传感器应力杯中，应力硅薄膜会因受外力作用而微微向上鼓起，发生弹性变形，四个电阻应变片因此而发生电阻变化，破坏原先的惠斯顿电桥电路平衡，电桥输出与压力成正 比的电压信号。贺德克HYDAC压力传感器其特点主要包括:1)质量和尺寸的减少;2)标准的电路避免了复杂的线路和外围结构;3)可以形成传感器阵列，获取阵列信号;4)易于处理和长的寿命;5)低的生产成本，贺德克HYDAC压力传感器这包括低的能源消耗，较少的用材;6)可以避免或者少用贵重的和对环境有损害的材料,其中压力传感器是影响zui为深远且应用的MEMS传感器。贺德克HYDAC压力传感器其性能由测量范围、测量精度、非线性和工作温度决定。

使贺德克HYDAC压力传感器结构更精细，性能更*，以适应各种环境测量压力的要求。促使传感器从一般测量元件向长期工作的控制元件发展。这不但要求高性能、高稳定，作为一个整体传感器还必须适应各种苛刻环境并确保安全。因此，贺德克HYDAC压力传感器除敏感元件工艺外，系统的设计也*。微系统的表征和测试技术 主要有结构材料特性测试技术，微小力学、电学等物理量的测量技术，微型器件和微型系统性能的表征和测试技术，贺德克HYDAC压力传感器微型系统动态特性测试技术，微型器件和微型系统可靠性的测量与评价技术。

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