HYDAC压力传感器机械转换输出HDA4745-A-016-000
贺德克HYDAC压力传感器压力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片产生微小的形变,厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面,连接成一个惠斯通电桥(闭桥),由于压敏电阻的压阻效应,使电桥产生一个与压力成正比的高度线性、与激励电压也成正比的电压信号,贺德克HYDAC压力传感器标准的信号根据压力量程的不同标定为2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V等,可以和应变式传感器相兼容。贺德克HYDAC压力传感器是基于金属弹性体受力变形,由机械量弹性变形到电量转换输出,因此它不可能如mems压力传感器那样,像集成电路那么微小,而且成本也远远高于压力传感器。相对于传统的机械量传感器,压力传感器的尺寸更小,大的不超过一个厘米,相对于传统“机械”制造技术,其性价比大幅度提高。
贺德克HYDAC压力传感器被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。压力传感器和变送器由双膜片构成:钛合金测量膜片和钛合金接收膜片。贺德克HYDAC压力传感器印刷有异质外延性应变灵敏电桥电路的蓝宝石薄片,被焊接在钛合金测量膜片上。被测压力传送到接收膜片上(接收膜片与测量膜片之间用拉杆坚固的连接在一起)。在压力的作用下,钛合金接收膜片产生形变,该形变被硅-蓝宝石敏感元件感知后,贺德克HYDAC压力传感器其电桥输出会发生变化,变化的幅度与被测压力成正比。
贺德克HYDAC压力传感器通常是将应变片通过特殊的粘和剂紧密的粘合在产生力学应变基体上,当基体受力发生应力变化时,电阻应变片也一起产生形变,使应变片的阻值发生改变,从而使加在电阻上的电压发生变化。这种应变片在受力时产生的阻值变化通常较小,一般这种应变片都组成应变电桥,并通过后续的仪表放大器进行放大,贺德克HYDAC压力传感器再传输给处理电路(通常是a/d转换和cpu)显示或执行机构。压力传感器上下二层是玻璃体,中间是硅片,硅片中部做成一应力杯,其应力硅薄膜上部有一真空腔,使之成为一个典型的绝压压力传感器。贺德克HYDAC压力传感器应力硅薄膜与真空腔接触这一面经光刻生成电阻应变片电桥电路。当外面的压力经引压腔进入传感器应力杯中,应力硅薄膜会因受外力作用而微微向上鼓起,发生弹性变形,四个电阻应变片因此而发生电阻变化,破坏原先的惠斯顿电桥电路平衡,贺德克HYDAC压力传感器电桥输出与压力成正比的电压信号。
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