hydac压力传感器压阻式结构EDS344
贺德克hydac压力传感器压阻式压力传感器结构 
贺德克hydac压力传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,贺德克hydac压力传感器并将此芯片的周边固定封装于外壳之内，引出电极引线。贺德克hydac压力传感器压阻式压力传感器又称为固态压力传感器，贺德克hydac压力传感器不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力，而是直接通过硅膜片感受被测压力的。硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔，另一面是与大气连通的低压腔。贺德克hydac压力传感器硅膜片一般设计成周边固支的圆形，直径与厚度比约为20～60。贺德克hydac压力传感器在圆形硅膜片(N型)定域扩散4条P杂质电阻条,并接成全桥，其中两条位于压应力区，另两条处于拉应力区，相对于膜片中心对称。贺德克hydac压力传感器硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上扩散制作电阻条 ，贺德克hydac压力传感器两条受拉应力的电阻条与另两条受压应力的电阻条构成全桥。

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贺德克hydac压力传感器的优点是: 
① 贺德克hydac压力传感器频率响应高(例如有的产品固有频率达1.5兆赫以上),适于动态测量; ② 贺德克hydac压力传感器体积小（例如有的产品外径可达0.25毫米），贺德克hydac压力传感器适于微型化； ③ 贺德克hydac压力传感器精度高，可达0.1～0.01％；
④ 贺德克hydac压力传感器灵敏高,贺德克hydac压力传感器比金属应变计高出很多倍，贺德克hydac压力传感器有些应用场合可不加放大器； ⑤ 贺德克hydac压力传感器无活动部件，贺德克hydac压力传感器可靠性高，贺德克hydac压力传感器能工作于振动、冲击、腐蚀、强干扰等恶劣环境。其缺点是温度影响较大（有时需进行温度补偿）、贺德克hydac压力传感器工艺较复杂和造价高等。  
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贺德克hydac压力传感器还有效地应用于爆炸压力和冲击波的测量、贺德克hydac压力传感器真空测量、贺德克hydac压力传感器监测和控制汽车发动机的性能以及诸如测量枪炮膛内压力、贺德克hydac压力传感器发射冲击波等兵器方面的测量。此外，贺德克hydac压力传感器在油井压力测量、贺德克hydac压力传感器随钻测向和测位地下密封电缆故障点的检测以及流量和液位测量等方面都广泛应用压阻式传感器。
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