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贺德克压力传感器HDA4745型工作原理
点击次数:360 更新时间:2018-02-01
 

贺德克压力传感器HDA4745型工作原理


贺德克HYDAC压力传感器其应力硅薄膜上部有一真空腔,使之成为一个典型的绝压压力传感器。贺德克HYDAC压力传感器应力硅薄膜与真空腔接触这一面经光刻生成的电阻应变片电桥电路。当外面的压力经引压腔进入传感器应力杯中,应力硅薄膜会因受外力作用而微微向上鼓起,发生弹性变形,四个电阻应变片因此而发生电阻变化,破坏原先的惠斯顿电桥电路平衡,贺德克HYDAC压力传感器电桥输出与压力成正比的电压信号。贺德克HYDAC压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的,具有较高的测量精度、较低的功耗,极低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器,如无压力变化,其输出为零,几乎不耗电。压力传感器采用周边固定的圆形的应力杯硅薄膜内壁,贺德克HYDAC压力传感器采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力zui大处,组成惠斯顿测量电桥,作为力电变换测量电路,将压力这个物理量直接变换成电量,其测量精度能达0.01%~0.03%FS。


贺德克HYDAC压力传感器是基于金属弹性体受力变形,由机械量弹性变形到电量转换输出,因此它不可能如MEMS压力传感器那样做得像IC那么微小,成本也远远高于MEMS压力传感器。相对于传统的机械量传感器,MEMS压力传感器的尺寸更小,zui大的不超过1cm,使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。贺德克HYDAC压力传感器的工作原理和他们的产品,其工作原理是将输入信号(压力)转换为电阻变化,即通过惠斯登电桥架构的压阻式压力传感器感应施加在薄隔膜上的压力。压力传感器的一个重要参数是灵敏度,高分辨率的小型压力传感器使得气压计/高度计应用得以在移动终端中实现,贺德克HYDAC压力传感器比如在GPS的应用中,高度计能够准确判断出位置是在桥上还是桥下。 


贺德克HYDAC压力传感器进行高精度、低成本的大批量生产,从而为消费电子和工业过程控制产品用低廉的成本大量使用MEMS传感器打开方便之门,使压力控制变得简单易用和智能化。传统的机械量压力传感器是基于金属弹性体受力变形,由机械量弹性变形到电量转换输出,因此它不可能如MEMS压力传感器那样做得像IC那么微小,贺德克HYDAC压力传感器成本也远远高于MEMS压力传感器。相对于传统的机械量传感器,MEMS压力传感器的尺寸更 小,zui大的不超过1cm,使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器,两者 都是在硅片上生成的微机械电子传感器。贺德克HYDAC压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的,具有较高的测量精度、较低的功耗,极低的成本。


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