贺德克压力传感器HDA4745系列应用原理
贺德克HYDAC压力传感器此电荷经电荷放大器和测量电路放大和变换阻抗后就成为正比于所受外力的电量输出。贺德克HYDAC压力传感器测量应变的灵敏度和分辨力高,可测量微应变,误差小于1%。非线性小,电阻的变化同应变成线性关系;能适应各种环境,可在高(低)温、超低压、高压、水下、强磁场以及辐射和化学腐蚀等恶劣环境下使用。传感器是根据半导体材料的压阻效应在半导体材料的基片上经扩散电阻而制成的器件。贺德克HYDAC压力传感器其基片可直接作为测量传感元件,扩散电阻在基片内接成电桥形式。当基片受到外力作用而产生形变时,各电阻值将发生变化,电桥就会产生相应的不平衡输出。它的敏感元件由压电材料制成。压电材料受力后表面产生电荷。压电式传感器用于测量力和能变换为力的非电物理量,如压力、加速度等(见压电式压力传感器、加速度计)。贺德克HYDAC压力传感器的优点是频带宽、灵敏度高、信噪比高、结构简单、工作可靠和重量轻等。缺点是某些压电材料需要防潮措施,而且输出的直流响应差,需要采用高输入阻抗电路或电荷放大器来克服这一缺陷。配套仪表和低噪声、小电容、高绝缘电阻电缆的出现,使压电传感器的使用更为方便。贺德克HYDAC压力传感器广泛应用于工程力学、生物医学、电声学等技术领域。
贺德克HYDAC压力传感器所用的元件材料是具有压阻效应的单晶硅、扩散掺杂硅和多晶硅。根据晶体不受定向应力时,电导率是同性的,只有受定向应力时才表现出各向异性,由于应力能引起能带的变化,能谷能量移动,导致电阻率的变化,于是就有电阻的变化,从而产生压阻效应。单晶硅效应包括n型和p型硅压阻效应。贺德克HYDAC压力传感器选用扩散硅目的在于在设计制造压力传感器时可根据不同温度下硅扩散层的压阻特性选择合适的扩散条件,力求使压力传感器具有良好的性能。多晶硅在传感器中有广泛的用途,可作为微结构和填充材料、敏感材料。贺德克HYDAC压力传感器按用途分类主要是压力监视、压力测量和压力控制及转换成其他量的测量。按供电方式分为压阻型和压电型传感器,前者是被动供电的,需要有外电源。后者是贺德克HYDAC压力传感器自身产生电荷,不需要外加电源,根据不同领域对压力测量的精度不同分为低精度和高精度的压力传感器。
贺德克HYDAC压力传感器是由平面应变传感器发展起来的一种新型压力传感器。它以硅片作为弹性敏感元件,任该膜片上用集成电路扩散工艺制成四个等值导体电阻,组成惠斯登电矫,当膜片受力后、由于半导体的压阻效应.电阻值发生变化,贺德克HYDAC压力传感器使电桥输出而测得压力的变化,利用这种方法制成的压力传感器叫压阻式压力传感器.偏移量、范围标定以及温度补偿均可以通过薄膜电阻网络实现,这种薄膜电阻网络在封装过程中采用激光修正。贺德克HYDAC压力传感器通常与微控制器结合使用,而微控制器的嵌入软件本身建立了传感器数学模型。微控制器读取了输出电压后,通过模数转换器的变换,该模型可以将电压量转换为压力测量值。 传感器zui简单的数学模型即为传递函数。贺德克HYDAC压力传感器模型可在整个标定过程中进行优化,并且模型的成熟度将随标定点的增加而增加。
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